潔凈室要提供滿足工藝過程要求的合格潔凈環(huán)境，應(yīng)從設(shè)計(jì)、建造、調(diào)試和運(yùn)行管理各方面遵循如圖1-2所示的四個(gè)基本原則。

01防止?jié)崈羰彝獾念w粒物直接侵入室內(nèi)

　　主要采取以下技術(shù)措施：

　　1、潔凈室內(nèi)維持正壓，防止?jié)崈舳缺仍摑崈羰业偷闹車諝鈹y帶顆粒物及其他污染物通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙和孔洞直接進(jìn)入室內(nèi)；

　　2、采用符合要求的空氣凈化系統(tǒng)對送風(fēng)進(jìn)行過濾。經(jīng)高效過濾后的空氣，不得被其后的管道、送風(fēng)口等再污染，同時(shí)注意高效過濾器與安裝密封設(shè)施，以免未經(jīng)高效過濾的空氣滲漏入室；

　　3、對進(jìn)入室內(nèi)的人員和物料采取合格的凈化措施，防止將污染物帶入潔凈室內(nèi)。

02防止顆粒物在潔凈室內(nèi)堆積、積聚

　　主要采取以下技術(shù)措施：

1、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)內(nèi)表面不應(yīng)或盡量減少突出物和溝縫，以免堆積塵埃；

　　2、室內(nèi)的設(shè)備、管路、家具等應(yīng)易于清掃；

　　3、設(shè)置真空清掃系統(tǒng)或真空掃除機(jī)，定期清掃。

03防止?jié)崈羰覂?nèi)產(chǎn)生顆粒物

主要采取以下技術(shù)措施：

　　1、潔凈室內(nèi)的建筑裝修材料、設(shè)備、家具、用具等應(yīng)不產(chǎn)塵或盡可能少產(chǎn)塵；

　　2、室內(nèi)人員應(yīng)穿著合格的潔凈服、遵循潔凈室操作（動(dòng)作、規(guī)程，以減少發(fā)塵；

　　3、提高工藝過程的機(jī)械化、自動(dòng)化程度，這對高級(jí)別潔凈室尤為重要。