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技術支持

一、潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊干擾和對工作效率的影響。
國內對于噪聲對于健康影響的研究表明,低于80dB(A)的一般工業噪聲對健康的影響不太大。
國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯邦標準209a和1974修訂的209b規定:“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話,滿足操作或產品的要求,并使人員保持在舒適和安全的范圍內”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規定:“應根據潔凈室內人的舒適和安全要求及環境(如其它設備)的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB(A)”。
從搜集的國內外潔凈室的噪聲標準來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運行,滿足必要的談話聯系,提供舒適的工作環境。
絕大多數標準給出的允許值在65-70dB(A)范圍,醫療行業更低?,F行的大多數標準均以A聲級作為評價指標,也有少數標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值,而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個統一的容許值。
對國內幾個行業不同氣流流型潔凈室的靜態和動態噪聲所進行的分析表明,不同氣流流型的靜態噪聲有較大的差異。1.非單向流潔凈室的靜態噪聲實測值在41-64 dB(A),平均為54 dB(A);2.單向流、混合流潔凈室的靜態噪聲實測值在51-75 dB(A),平均為65 dB(A);3.非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態噪聲平均值約低11 dB(A);4.非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態噪聲的差異與其送風量(或換氣次數)和凈化空調系統的特征有關。
控制設備噪聲首先應從聲源上著手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由于技術或經濟的原因而難于做到時,則應從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如,把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。必須置于潔凈室內的高噪聲設備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內有些潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間,或技術夾道或服務區內,潔凈室噪聲有明顯的降低。
潔凈室的靜態噪聲主要來源于凈化空調系統和局部凈化設備運行噪聲,靜態噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統的合理布置及合理的降噪措施。
二、關于降低潔凈室凈化空調系統噪聲的措施,國內外有關資料提出一些有效措施:
《現代潔凈室概念》一文中強調“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風機,還應該采用彈性減振基礎”。關于消聲器的使用,文中說:“管道消聲器在高頻和中頻范圍內降低噪聲是有效的,當風管敷設長度在15m內時,就應考慮采用消聲器”。關于風管的連接,文中說:“通風機和送風管道與回風管道之間,應采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對風道系統采取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔凈室噪聲可以大幅度地降低。
排風系統噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產為例,在生產過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風系統。近年來,對于潔凈廠房排風系統噪聲治理日益受到重視,注意選用低噪聲風機等。
潔凈室的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由于潔凈室內的工作環境要求比較安靜,按規定減少風管風速,既減少了凈化空調系統的阻力,降低了風機壓頭和轉速,減弱了風機噪聲,又防止了風速過大而產生的附加噪聲。

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